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硅肖特基勢壘紅外像傳感器利用了超大規(guī)模集成電路技術(shù)，成本低，其均勻性優(yōu)于混合式，對于 %背景有良好響應(yīng)特性，它是目前惟一不用補(bǔ)償?shù)年嚵小Ｋ�不造成相鄰探測單元間的串?dāng)_，且有自生的抗光暈?zāi)芰Α?br /> 從結(jié)構(gòu)方面看，由于單片式封裝密度高、可靠性好，便于大規(guī)模集成，因此是發(fā)展主導(dǎo)方向。日本三菱公司研制的肖特基單片紅外 "為 &’( ) &’(像元；美國的同類器件像元
*( ) &++，每個(gè)像元尺寸為 ,-)+-，其熱分辨率在 . *%以下。
國產(chǎn)的混合式紅外探測器（*/01）工作波長  2 ’3-，探測率 ’ )*4 2&. )** 5-• 67*8& 8 9，非均勻性 : ’;，外形尺寸 "’--) <4--；單片式紅外探測器（ =>0?）工作波長 2 ’-，探測率為 ’)*4 2.’)**，非均勻性 : ’;，尺寸亦為 "’--) *4--。
四、新型諧振式傳感器
諧振式傳感器直接輸出頻率，無需人， "變換便可與微機(jī)接口。這種傳感器的輸出取決于機(jī)械參數(shù)，電子裝置對其性能影響很小。隨著微機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展，已研制出微結(jié)構(gòu)硅諧振傳感器、壓電諧振傳感器（石英諧振傳感器、聲表面波諧振傳感器）等，它們體積小、功耗低、響應(yīng)快、遲滯和蠕變極小，是發(fā)動(dòng)機(jī)高精度測量的微型傳感器。
*.光纖—諧振壓力傳感器
這是一種采用不接觸諧振子表面的光纖激勵(lì)、光纖檢測結(jié)構(gòu)。既不破壞諧振子自身的機(jī)械特性，又可防電磁干擾。已在使用的一種硅方膜片由長為 &. ’--，膜厚 * 2 &3-，在膜片中心制出 (3-) +3-) ’3-的兩端固支振梁，并置于真空腔內(nèi)，振梁由光纖激振和拾振。當(dāng)膜片感受被測壓力時(shí)產(chǎn)生靜變形，使振梁受軸向載荷，改變其諧振頻率，頻率變化與被測壓力有關(guān)。這種傳感器精度高于 . ’;，是全光纖抗電磁干擾。
&.壓電薄膜傳感器硅不像石英，它沒有壓電特性。若采用壓電激勵(lì)和拾振，必須在硅膜片上形成牢固的壓電薄膜。采用磁控濺射方法將壓電材料（如 @/A）濺射在硅膜片的工作表面， @/A膜厚約
*8 8-，便可實(shí)現(xiàn)激勵(lì)和拾振。 .聲表面波壓力傳感器聲表面波（0B9）諧振傳感器是根據(jù)超聲表面波振蕩器的頻率隨著被測量的變化而變
化的原理來實(shí)現(xiàn)對被測量的測量。石英晶體膜片和基底一起進(jìn)行整體加工。膜片感受壓力后，在其中心區(qū)域處于拉伸狀態(tài)。邊界區(qū)域處于壓縮狀態(tài)。由于膜片的應(yīng)變，使沉積在膜片上的叉指換能器和柵陣反射器的指間距和條間距發(fā)生變化。由此而使在膜片上傳播的聲表面波速度發(fā)生變化，導(dǎo)致諧振器的頻率變化。測出由于壓力影響引起的頻率變化量 •*&CC•
 

即可求得被測壓力值。 "傳感器可用于發(fā)動(dòng)機(jī)的壓力、力、加速度、位移和流量等的測量。
第三節(jié) 飛行試驗(yàn)用傳感器
飛行試驗(yàn)是在真實(shí)的飛行環(huán)境條件下驗(yàn)證發(fā)動(dòng)機(jī)設(shè)計(jì)和地面試驗(yàn)結(jié)果，空中工作穩(wěn)定性、可操縱性、適航性和實(shí)際使用性能。
可靠、準(zhǔn)確地測取發(fā)動(dòng)機(jī)飛行試驗(yàn)中的各種參數(shù)是確定發(fā)動(dòng)機(jī)空中工作性能、可靠性的基礎(chǔ)。飛行試驗(yàn)質(zhì)量在很大程度上取決于傳感器的精度和質(zhì)量。
隨著航空技術(shù)的發(fā)展，發(fā)動(dòng)機(jī)飛行試驗(yàn)中用傳感器測量的參數(shù)不斷增加。例如，進(jìn)氣道與發(fā)動(dòng)機(jī)匹配飛行試驗(yàn)用傳感器至少要 %&個(gè)。整個(gè)飛機(jī)飛行試驗(yàn)，包括火控系統(tǒng)和操縱系統(tǒng)可用 ’((( ) %(((個(gè)傳感器進(jìn)行參數(shù)測量。
一、發(fā)動(dòng)機(jī)飛行試驗(yàn)用傳感器
飛機(jī)飛行試驗(yàn)時(shí)常用加速度傳感器、角速度傳感器、位移傳感器、攻角和側(cè)滑角傳感器、力傳感器、壓力傳感器、溫度傳感器和轉(zhuǎn)速傳感器。其中使用最多的是壓力和溫度傳感器，約占飛行試驗(yàn)用傳感器的 *(+左右。
發(fā)動(dòng)機(jī)試飛時(shí)要鑒定發(fā)動(dòng)機(jī)的工作性能：發(fā)動(dòng)機(jī)推力和耗油率；發(fā)動(dòng)機(jī)加、減速性；空中啟動(dòng)、加力點(diǎn)火和發(fā)動(dòng)機(jī)的操縱性；部件改進(jìn)后發(fā)動(dòng)機(jī)性能；進(jìn)氣道和發(fā)動(dòng)機(jī)的匹配特性等。從使用傳感器的角度來講，進(jìn)氣道與發(fā)動(dòng)機(jī)匹配特性試飛用的傳感器具有典型性。
二、綜合傳感器系統(tǒng)
上述的采集飛機(jī)和發(fā)動(dòng)機(jī)性能、穩(wěn)定性和操縱性數(shù)據(jù)的方法是分別使用單個(gè)傳感器。每一次試飛都要根據(jù)新的試驗(yàn)要求組裝測試儀器。因此飛行試驗(yàn)的復(fù)雜性大大增加。現(xiàn)在，已研究和發(fā)展了動(dòng)態(tài)飛行試驗(yàn)和系統(tǒng)識別技術(shù)，對飛行試驗(yàn)采用了綜合傳感器系統(tǒng)。它是運(yùn)用慣性測量系統(tǒng)和高速數(shù)字計(jì)算機(jī)來獲得飛機(jī)加速度、旋轉(zhuǎn)速率和飛機(jī)姿態(tài)數(shù)據(jù)的。
綜合傳感系統(tǒng)通過一種能編制試驗(yàn)飛機(jī)的空氣動(dòng)力特性的格式來獲取飛行試驗(yàn)數(shù)據(jù)，這些數(shù)據(jù)包括飛機(jī)性能、穩(wěn)定性和操縱性，以及失速前和失速后的飛行品質(zhì)。飛行試驗(yàn)計(jì)劃所需要的測試數(shù)據(jù)主要包括：
,-.一 /(激光陀螺導(dǎo)航系統(tǒng)，它可以提供飛機(jī)高度、加速度、姿態(tài)變化率、方位余弦和速度（機(jī)身軸向速度）。采用串行數(shù)據(jù)總線傳輸。
"風(fēng)標(biāo)，提供風(fēng)標(biāo)角度、總溫、大氣數(shù)據(jù)系統(tǒng)用的總、靜壓、靜壓源和側(cè)滑角。
推進(jìn)系統(tǒng)，需測量轉(zhuǎn)數(shù)、燃油流量、進(jìn)氣道中壓力、溫度、發(fā)動(dòng)機(jī)排氣溫度和壓力等，推進(jìn)系統(tǒng)參數(shù)需計(jì)算推力、總重和重心。
電位器，用于測量飛機(jī)操縱面位置。
表 0 12( 12列出綜合傳感器系統(tǒng)中有關(guān)發(fā)動(dòng)機(jī)的基本傳感器。綜合傳感器系統(tǒng)的設(shè)計(jì)特點(diǎn)和它同試驗(yàn)飛機(jī)的一體化組成如圖 0 12( 1’所示。設(shè)備包括：傳感器系統(tǒng)，有信號
•2’*0•
 
調(diào)節(jié)設(shè)備；數(shù)據(jù)系統(tǒng)，有 "轉(zhuǎn)換器、微處理機(jī)和傳感器系統(tǒng)的某些部分的狀態(tài)控制。

圖  %&’ %()綜合傳感器系統(tǒng)框圖
綜合傳感器系統(tǒng)都以數(shù)字式串行格式表示測量數(shù)據(jù)，或?yàn)閿?shù)字的，或?yàn)槟�擬的。由綜合傳感器系統(tǒng)計(jì)算機(jī)完成算術(shù)和邏輯運(yùn)算并執(zhí)行綜合傳感器系統(tǒng)的功能要求的輸入和輸出操作。系統(tǒng)的接口和其他數(shù)字式裝置之間的信息傳輸要采用數(shù)據(jù)總線。要求有模 "數(shù)轉(zhuǎn)換器來轉(zhuǎn)換傳感器的模擬量，轉(zhuǎn)換速率為每個(gè)參數(shù)每秒 (’’次。
表  %&’ %&)綜合傳感系統(tǒng)中有關(guān)發(fā)動(dòng)機(jī)的基本傳感器
參)數(shù) 范)圍 精)度 數(shù)據(jù)速率
轉(zhuǎn))速  ’ * &(’+  &轉(zhuǎn)  ,’次 " -
發(fā)動(dòng)機(jī)壓比  ., / &’, 01  &+滿量程  ,’次 " -
排氣溫度  ’ * &,’’2  (2  ,’次 " -
　
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